原装 春日电机 KASUGA 支持真空的静电电位传感器 KS-3101 连续监视静电电位

2024-08-01 09:08:31 admin

真空兼容静电电位传感器测量对真空室的影响

●排气分析比较

KS-3101_諸特性_アウトガス分析結果.jpg

根据对传感器释放的出气的分析,确定了气体的主要成分是由水和微量的碳氢化合物引起的。 由于各个峰值与背景测量的峰值相同,因此可以认为是来自环境中吸附在传感器表面的气体。

●到达真空度的比较

KS-3101_諸特性_到達真空度の比較.jpg

排气装置:涡轮分子泵TG220FCAB ㈱ (株)大阪真空设备制作所制
排气速度: 220 L/sec (N2 )
暗箱尺寸:φ300 × L 300㎜

※该数据为实测值,并非保证值。

规格

型号KS-3101
检测方式振动型表面电位传感器
推荐使用真空度10 5Pa (大气压)、10-1~10-5帕a
测量范围
HIGH范围:0~±20.0kV (测量距离100mm )
LOW范围:0~±2000V (测量距离10mm )
测量精度±10%以内
警报检测传感器故障LED显示
使用环境温度0~40℃、湿度65%以下(无结露)
质量约130g (不含电缆、控制箱)
构成必需品
真空用电缆: KS-3101-C01 (电缆长1m,可延长)
控制箱: KS-3101-B05 (带大气侧电缆5M,可延长)
控制器: KSD-0110


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